ジルコニアによる装置検定

ジルコニアのオート測定画面

 図は標準条件でのオートモードで得たジルコニア板(ミツトヨ製500ミクロン)のTWA結果です.右の窓は周波数,位相,振幅の順です.
 まずプロットが直線であることを確認します.さらに,厚みが500±5μmに入っているかどうか,熱拡散率が1.20x10-6±0.05に収まっているかどうかを確認します.異常の場合の対応は,クリーンアップ,置き直しての再測定,保護膜の確認,ベースライン再取得,厚み計調整,修理依頼の順になります.
 オートモードで指定された周波数は装置によって若干異なります.振幅(amp)も試料の種類によらず3000と1500程度(1Vの場合)になりますが,横方向への逃げが大きい,金属,面方向配向試料などは1000-500などと小さくなります. ρ,Cpを入れると熱伝導率が計算されます.また厚みは手入力できますので,498.1を500に変更すると若干値が大きくなります.