シリコンウエハ上の薄膜は測定できるか?

問い合わせの中で,上位に来るのがこの質問です.500ミクロンのウエハ上に形成した1ミクロン以下のスパッタ膜・塗布膜などです.
 シリコンは導体なので,絶縁膜の使用は不可避ですが,これが数ミクロンのPETフィルムなので,それ以下厚みの塗布膜を分離して計算することの困難さは直感的に推定できます.
 厚み方向に加成性がある数値である温度抵抗,d/√α で考えます.上下二枚の絶縁膜,シリコンウエハ,1ミクロンガラス塗布膜として,前二者をベースラインとするとして,温度抵抗は,mm単位で,0.009/0.0003,0.5/0.01,0.001/0.0006が傾きになります.30,50,1.7の割合になります.試料の抵抗寄与は2%.ただし,シリコンウエハは横にも熱が拡散するのが気になります.
 接触と,厚みの評価が問題となりますが,絶縁膜を薄くするなどで試料の寄与率をあげ,また繰り返し測定することで,厳密な熱拡散率の決定は難しいとしても,優位な差は求められるのではないでしょうか.他に方法がなさそうなので試してみる価値はありそうと思います.